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經(jīng)驗科普|半導(dǎo)體氣體傳感器原理及引用介紹

來源:鄭州煒盛電子科技有限公司   2025年05月29日 07:02  

半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看,半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。

半導(dǎo)體氣體傳感器原理

正如上文所述,半導(dǎo)體氣體傳感器的敏感材料就是這么一種物質(zhì)。在真空中(沒有外界干擾時),半導(dǎo)體材料內(nèi)部有很多電子可以導(dǎo)電,很奇妙,在半導(dǎo)體在接觸空氣后會吸附氧,氧會捕獲并固定那些半導(dǎo)體內(nèi)的電子,更奇妙的是:在此狀態(tài)下如果半導(dǎo)體接觸到象甲烷這樣的氣體,甲烷就會把氧氣反應(yīng)掉,那些被氧捕獲的電子就重獲自由,回到半導(dǎo)體內(nèi),改善其導(dǎo)電性能。這個過程是電子在氧和半導(dǎo)體之間倒騰的過程,電子被氧固定時,半導(dǎo)體電阻變大;甲烷反應(yīng)掉氧,電子回到半導(dǎo)體中時,半導(dǎo)體電阻就小。電阻變化就和甲烷有、無、多少相關(guān)聯(lián),測半導(dǎo)體電阻變化就可以知道對應(yīng)的甲烷的多少。

用于氣體傳感器的半導(dǎo)體材料還需要具備以下條件:

a、易獲得;

b、在較低溫度下對氧氣和目標(biāo)氣體有很好的吸附能力,二者有很好的化學(xué)反應(yīng)能力、并在該溫度下對反應(yīng)產(chǎn)物有較好的脫附能力;

c、與其它輔助材料成型后有較好的相融性、化學(xué)穩(wěn)定性、并有適合的微缺陷電導(dǎo)率等。

符合這種條件的常見材料二氧化錫、氧化鎢、氧化銦、偏錫酸鋅等。

這里最重要的概念與性能的對應(yīng)關(guān)系:

溫度-功耗、漂移;

吸附及化學(xué)反應(yīng)-靈敏度、選擇性、漂移、線性及響應(yīng)時間;

脫附-恢復(fù)時間。

半導(dǎo)體氣體傳感器的致命弱點:

功耗大、漂移、線性差均與上述好應(yīng)關(guān)系相關(guān)。

漂移:傳感器會吸附氧氣,當(dāng)氧氣濃度變化時 (如雨天,氧濃度變小),吸附量會變化,零點必會漂啊漂??傊?span style="color:#008080;">半導(dǎo)體氣體傳感器的弱點首先是由其工作原理決定的,是先天的。后天設(shè)計、制造可以改善,但不能消除。

半導(dǎo)體氣體傳感器的未來:

在眾多的氣體傳感器門類中,半導(dǎo)體傳感器將是發(fā)展前景的氣體傳感器。

原因就在于其工作原理、傳感過程極其簡單,即氣體信息只需一個步聚就可以變?yōu)殡娦盘?;其二傳感載體穩(wěn)定;其三為廉價。這樣的特點不僅為其進化提供了清楚的路徑和空間,也為未來的大規(guī)模布設(shè)提供了經(jīng)濟上的可行性。

半導(dǎo)體氣體傳感器最清晰的進化路徑有兩條,一是常溫敏感材料,二是MEMS化。

目的是降低功耗、降低工作溫度。功耗和工作溫度極其重要。

首先:智能終端在工作時,Mcu需要進行大量計算,即有巨量的電子在體內(nèi)流動,發(fā)熱、溫升,沒有散熱措施,發(fā)熱是正常的,熱的傳感器會烤著它,讓 Mcu死的更快。

其二:提高智能終端的可靠性、減小體積和重量,多傳感器及與調(diào)理電路(Asic)集成是必由路徑,傳感器加熱結(jié)構(gòu)的設(shè)計制造通常與其他器件制造工藝不兼容,會成為和集成發(fā)展的阻礙。

其三:無線分布式傳感網(wǎng)只有在低功耗的前提下才更經(jīng)濟可行。

半導(dǎo)體氣體傳感器的兩條進化路徑均已進行多年并取得進展。其中MEMS化的半導(dǎo)體氣體傳感器已有市場銷售。常溫敏感材料需要在敏感機理上有突破,因此成熟尚需時日。鄭州煒盛電子科技有限公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體氣體傳感器,具有靈敏度高、壽命長等多個優(yōu)點,尤其是可燃氣體傳感器,在眾多半導(dǎo)體傳感器中脫穎而出,可以廣泛應(yīng)用于家庭和工業(yè)可燃?xì)怏w檢測。

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