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高性能X射線熒光分析儀EA1000VX在ITO涂層測厚中的應用

來源:廣州元升科技有限公司   2025年04月01日 07:20  

高性能X射線熒光分析儀EA1000VX在ITO涂層測厚中的應用

手機、平板電腦在生活中使用頻率很高,其顯示屏的輻射影響人的眼睛健康。 ITO涂層是提高屏幕或保護膜的可見光通過率的同時阻止有害射線通過的高科技涂膜。



ITO膜的結構精細,在基體的兩面先涂覆一層約0.1um的膠體,然后再進行ITO膜的涂覆。其中基體材料都是透明的材料,厚度100um左右。


若用傳統的X射線熒光膜厚儀器測量ITO層的厚度,將出現以下困難:

1. 基體材料和ABHC層是不可元素。

2. 樣品總厚度很薄,整體被穿透。

3. ITO層太薄,超出一般XRF檢測下限。

4. 樣品為雙面涂覆,無法分辨層次信號。


EA1000VX元素分析儀


XRF是成熟而高效元素分析方法,因其快速和低成本而廣泛使用于工業產品檢測。  

日立儀器的EA1000VX元素分析儀采用的VOTEX熒光檢測器,具有30萬CPS計數率,對超薄鍍層、涂層具有非常靈敏的信號檢測能力。儀器標配有5mm光斑,可大大增加涂層信號的激發能力(一般膜厚儀只有0.2mm光斑)。


ITO涂層厚度測量


■ 機型:EA1000VX

■ 樣品:某品牌護眼手機屏保膜

■ 測量方法:EA1000VX是從下向上照射,樣品倉頂部有Al板作為背景補償,解決樣品穿透問題;利用EA1000VX高計數率和大光斑解決ITO太薄信號不足問題;利用FP法樣品修正解決雙面涂覆問題。


護眼手機屏保膜


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