真空多維運動壓電馬達位移臺

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2025年03月26日 14:09

在科技飛速發(fā)展的今天，精密運動控制領域不斷迎來創(chuàng)新突破。壓電產品作為精密運動的主力軍，以其**的工作原理和優(yōu)秀性能，正逐漸在眾多領域嶄露頭角。今天，我們要為大家介紹的是一款多維真空壓電馬達——F21.N2E。

F21.N2E是一款二維運動壓電馬達，可進行X向直線運動和θx偏擺運動。X軸直線行程可達10mm，分辨率可達5nm，速度可達3mm/s，重復定位精度可達0.1μm；θx偏擺行程可達10°，分辨率可達1μrad，速度可達3°/s，重復定位精度達0.001°?？韶撦d600g樣品進行運動，外觀結構設計緊湊，體積小巧，適用于各種高精度應用領域。

產品特點

X、θx二維運動行程大響應速度快閉環(huán)分辨率高真空兼容

典型應用

半導體：掃描電鏡（SEM）樣品操縱、原子力顯微鏡、大范圍電子束直寫（EBL）、光刻機、晶圓加工與檢測、探針臺等。

光學：激光通訊、激光加工、天文望遠鏡、光路調整、激光穩(wěn)定、光纖對準、光學測試系統(tǒng)等。

生物與醫(yī)療：超分辨成像樣品移動、顯微及納米CT、細胞穿透、微計量配藥等。

芯明天多維度壓電馬達

技術參數(shù)

型號	F21.N2E
運動自由度	X、θx
傳感器	光柵傳感器
θx偏擺部分
運動自由度	θx
速度上限	3°/s
行程范圍	10° 或±5°
分辨率	1μrad
線性度	0.01°
重復定位精度	0.001°
直線運動部分
運動自由度	X
速度上限	3mm/s
行程范圍	10mm或±5mm
分辨率	5nm
線性度	0.8μm
重復定位精度	0.1μm
整體
承載能力	600g
工作溫度范圍	0~40°C
重量	200g（不含線及連接器）
臺體材料	鋼、鋁
出線長	0.7m
連接器	DB15公座×2

配套控制器

由芯明天研發(fā)生產的E53.D1E-J壓電控制器非常適用于驅動F21.N2E系列壓電馬達，它是單通道壓電控制器，采用數(shù)字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結構緊湊，易于集成。

更多詳情歡迎致電芯明天！

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