現在制備超純水的方法是將各種純化水的新技術科學地結合起來，不僅能生產超純水，而且工藝普及度較高。目前市售的超純水設備就是一個成功的例子。自來水進去超純水出來，非常方便。而且使用壽命也越來越長。超純水設備制備超純水的原理和步驟大體如下：

　　1、原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

　　2、機械過濾：通過機械過濾器濾除機械雜質，如鐵銹和其他懸浮物等。

　　3、活性炭過濾：活性炭是廣譜吸附劑，可吸附氣體成分，如水中的余氯等;吸附細菌和某些過渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜，因此應力求除盡。

　　4、反滲透膜過濾：可濾除95%以上的電解質和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。

　　5、紫外線消解：借助于短波(180nm-254nm)紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機化合物，如甲醇、乙醇等，使其轉變成CO2和水，以降低TOC的指標。

　　6、離子交換單元：已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多級混床獲得超純水也并不困難。但水的電阻率指標主要來自樹脂床。因此，高質量的離子交換樹脂就成為成敗的關鍵。所謂高質量的樹脂，就是化學穩定性特別好，不分解，不含低聚物、單體和添加劑等的樹脂。所謂"核工業級樹脂"大概就屬于這一類樹脂。對樹脂的要求是質量越高越好。可惜國內很少有人在這方面下工夫。滿足于生產大路貨。

　　7、0.2μm濾膜過濾，以除去水中的顆粒物到每毫升1個(小于0.2μm的).經過上述各步驟處理后生產出來的水就是超純水了。應能滿足各種儀器分析，高純分析，衡量。

　　在電子行業中，超純水的應用十分廣泛。生產半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業都用超純水設備。水質可達可達18.2兆歐，符合電子行業生產所需超純水水質要求。