壓力變送器是直接被測介質(zhì)相接觸的現(xiàn)場儀表.常常在高沮、低沮、腐蝕、振動、沖擊等環(huán)境中工作。變送器的可稱性已經(jīng)成為影響壓力變送器需求持續(xù)增長的旅要因素之一。
　　
　　壓力變送器的發(fā)展大體經(jīng)歷了四個階段:
　　
　　（1）早期壓力變送器采用大位移式工作原理，如水銀浮子式差壓計(jì)及膜盒式差壓變送器，這些變送器梢度低且笨重。
　　
　　（2）20世紀(jì)50年代有了精度稍高的力平衡式差壓變送器，但反該力小，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，可靠性、穩(wěn)定性和抗震性均較差。
　　
　　（3）20世紀(jì)70年代中期，隨著新工藝、新材料、新技術(shù)的出現(xiàn)，尤其是電子技術(shù)的迅猛發(fā)展，出現(xiàn)體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單的位移式變送器。
　　
　　（4）20世紀(jì)90年代科學(xué)技術(shù)迅猛發(fā)展，變送器測量精度提高而且逐漸向智能化發(fā)展，數(shù)字信號傳輸更有利于數(shù)據(jù)采集，出現(xiàn)了擴(kuò)散硅壓阻式變送器、電容式變送器、差動電感式變送器和陶瓷電容式變送器等新型變送器。
　　
　　（1）擴(kuò)散硅壓力變送器
　　
　　20世紀(jì)90年代中期，美國Icscnsor，公司,Nova公司應(yīng)用硅品石和硅品片益合兩項(xiàng)科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開發(fā)出具有精度高、重復(fù)性小、抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力變送器，工作原理圖如下
　　
　　過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U(kuò)散硅膜片上，同時參考端的壓力（大氣壓）作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個壓力場，使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸，在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別有兩個應(yīng)變電阻片，以感受壓力引起的阻值的變化，從而將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號.擴(kuò)散硅在低溫零度以下、高溫85℃以上難以正常使用，也不適用于20MPa以上的高壓。
　　
　　2）電容薄膜式壓力變送器
　　
　　電容薄膜式壓力變送器自20世紀(jì)80年代誕生至今己有20多年歷史，由于它精度高，耐腐蝕，耐污染，穩(wěn)定性好，是岡內(nèi)外*的檢淵低真空壓力的理想儀表。美國的M.K.S公司是生產(chǎn)電容式壓力變送器的主要生產(chǎn)廠家，涉及民用工業(yè)的各個領(lǐng)域，并在航天工業(yè)、核工業(yè)等軍事工業(yè)中發(fā)揮著*的作用。這種壓力變送器是利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生壓變引起電容變換的原理制成的，它由檢測部分和轉(zhuǎn)換電路組成，如圖7一34所示.檢測部分有真空腔和檢測腔兩個腔體。真空腔為全密封結(jié)構(gòu)，經(jīng)質(zhì)譜檢漏儀檢漏合格后，通過長時間排氣，zui后將排氣管密封而形成，井備有消氣劑以消除殘余氣體，長期保持高真空.固定極板位于真空腔中，由極板引出線引至腔外.檢測膜片置于高真空的真空腔及連接低真空待測系統(tǒng)的檢測腔之間，檢測膜片為可動極板，其與固定極板形成一個平板電容器，有一定的電容（J.。被測的低真空壓力通過檢測孔進(jìn)人檢測腔，檢測膜片產(chǎn)生撓曲，改變了其與固定極板的距離，電容值也隨之改變。不同的低真空壓力值決定不同的電容值。zui后電容信號被輸送到電路轉(zhuǎn)換部分，電路轉(zhuǎn)換部分將電容信號通過變換、整理、放大等環(huán)節(jié)，輸出一個標(biāo)準(zhǔn)電壓或電流信號，它與真空壓力成正比。該類型壓力變送器為高靈敏度差壓測量，零點(diǎn)穩(wěn)定。動態(tài)響應(yīng)特性好，適應(yīng)性強(qiáng)，一般適用于靜壓力的測zui.