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顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2024年01月23日 09:13  

顯微測量的原理及其在先進制造業(yè)中的意義

顯微測量是利用顯微鏡實現(xiàn)對微小尺寸和形狀的測量的一種技術手段。它能以高精確度測量微觀尺寸,幫助制造業(yè)實現(xiàn)更高質(zhì)量的產(chǎn)品。

顯微測量的原理主要基于光學和機械原理。在顯微鏡的幫助下,可以放大被測物體的面積和形狀,使其更容易被觀察和測量。這種技術的應用范圍非常廣泛,涵蓋了諸多領域。

在先進制造業(yè)中,不管是零件尺寸的測量還是表面質(zhì)量的評估,顯微測量都可以提供高精度的數(shù)據(jù)支持。這對于確保產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性至關重要;通過測量微小尺寸的變化和形狀的改變,顯微測量還可以獲取加工過程中的有價值的信息,幫助制造業(yè)進行工藝優(yōu)化。


中圖儀器顯微測量儀集合光學干涉、3D成像算法、納米驅(qū)動關鍵技術,為制造業(yè)提供了準確、可靠的測量手段:

1、三維顯微成像

W系列光學3D表面輪廓儀,Z向測量精度達到納米級。它基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等等)、幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,特征圖形的位置和數(shù)量等等)。

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針對超光滑凹面弧形所需同時滿足的高精度、大掃描范圍測量需求,W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。


VT6000共聚焦顯微鏡,大傾角超清納米測量。它用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

圖片2.jpg


2、二維超精密測量

CP系列臺階儀,亞埃級垂直分辨率。作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結構高度和曲率半徑。

圖片3.jpg


顯微測量技術在先進制造業(yè)中具有至關重要的意義。它為制造業(yè)提供了準確、可靠的測量手段,幫助企業(yè)實現(xiàn)了更高水平的制造和更高質(zhì)量的產(chǎn)品。隨著科技的不斷進步,相信顯微測量技術將會在未來取得更大的突破和應用。

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