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MEMS技術應用于加速度傳感器高頻繼電器(圖)

   2006年08月07日 09:56  
松下電工控制機器事業本部推出了采用MEMS技術的三款產品,分別是超小型MEMS高頻繼電器、面向車載用途的單軸加速度傳感器、適用于小型數字設備的三軸加速度傳感器。
  MEMS繼電器ME-X融合了MEMS和機械繼電器技術,采用精密活動結構和磁回路,大小僅為4.0mm×2.5mm× 1.3mm,同時具有低接觸阻抗、接點間高絕緣性、可在高頻且寬頻帶下使用的機械式繼電器的優點和小型、率、可高速開閉的半導體繼電器的優點。繼電器在6GHz時的電阻為50Ω,插入損耗約為0.5dB,隔離度約為28dB,功耗為100mW,可用于IC測試儀、測量儀、BS/地波數字廣播、3G/4G等產品當中。

   GS1型單軸加速度傳感器由精密梳齒結構形成的靜電容量式MEMS傳感器芯片和ASIC芯片組成,典型尺寸為6.2mm×8.5mm×1.6mm,檢測靈敏度為 1V/g,綜合精度為±5%FS,溫度變化適應性強、可靠性高,可將溫度所引起的檢測精度的變化控制在zui小限度。GS1型加速度觸傳感器可用于汽車導航系統(傾斜檢測、振動檢測、簡易沖擊監視器)和車輛控制(4WD-ABS、ESC等)、液晶投影機、福利型電動升降機等領域。

  GS3型三軸加速度傳感器有放大器內置型和無放大器的單體型,可以把施加加速度后所引起的壓電阻變化轉換為電壓變化并輸出。內置型帶有ASIC,尺寸為4.6mm×4.6mm× 1.3mm,可承受5000g的沖擊。單體型沒有ASIC,典型尺寸為4.6mm×4.6mm×1.0mm,可承受5000g的沖擊,并可與旭化成微系統公司生產的三軸電子羅盤AK8971N相連接。適用于內置HDD的手持設備的跌落保護、液晶畫面的縱橫切換、游戲機、安全設備、機器人、、GPS導航的姿勢修正、游戲鍵盤操作的簡化等應用。

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