上海棱光雙光束紫外分光光度計-衍射峰值測量
在410n-Si(111)襯底上生長的膜層具有金剛石的多個特征衍射峰,它們分別對應(11)、 (220)、 (311) 和(331) 的衍射,并由圖3得到進一步證實,金剛石沿襯底表面的劃痕線出現,表面粗糙的襯底比拋光后的襯底[圖易于金剛石的成核生長。上海棱光技術有限公司紫外分光光度計且在生長過程中噴嘴與襯底距離應嚴格控制。
改變上述生長條件,觀察到石墨和碳化硅的存在。實驗還指出:不聚焦的激光光束或聚焦后功率密度小于10mJ/cm2時,都不能產生金剛石,這是因為該體系金剛石的形成過程是一個多光子過程,需要產生足夠的活化基團才行。
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