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加拿大LightMachinery準分子激光器 原理介紹

來源:天津瑞利光電科技有限公司   2022年03月21日 09:47  

產品型號:IPEX-800 Series

關鍵字:

關鍵字描述:

產品介紹:

 

IPEX 系列激光器專為制造環境中的高占空比操作而設計,可提供高功率紫外激光加工和性能。IPEX 激光器采用LightMachinery的exciPure 技術,可提供超長的氣體壽命、光學穩定性和對激光器工作參數的控制。操作準分子激光器的單一成本是激光氣體消耗(也稱為動態氣體壽命)。憑借exciPure 技術,LightMachinery 的氣體使用量比競爭激光器提高了10 倍。這一技術突破大大降低了運行激光器的成本。安裝在光學端口上的 EasyClean自動閥允許密封激光室并保留氣體填充/鈍化,同時移除諧振器光學器件進行清潔和維護。IPEX-800 激光器易于使用、維修簡單且操作經濟,結合了高精度準分子加工的優勢、當今市場上的總擁有成本和正常運行時間。上面顯示的陶瓷標記是這些多功能工業工具的眾多應用之一。

 

特征

exciPure 技術可實現令人難以置信的 10 倍氣體壽命和運行成本

無需昂貴的低溫氣體凈化器

EasyClean 自動光學密封件可保持氣體填充并減少停機時間

光學維護

可選的高亮度光學元件,適用于需要低光束發散或延長相干長度的應用

高穩定性光學安裝座可實現光束指向精度

簡單集成到工業處理系統中

 

優勢

延長氣體壽命、長更換間隔、低運行成本

簡化光學維護,保留氣體填充和鈍化

提供200微弧度的指向穩定性

清潔或更換光學元件后無需重新校準

內部、突發和外部觸發模式下的快速、確的能量穩定

優異的能量穩定性,優于1.0% (KrF)

去除微粒并保持光學元件清潔度

 

應用

24/7 脈沖激光沉積

精密制造

材料加工

鉆孔

剝線

科學研究

激光雷達

激光誘導擊穿光譜

參數:

 

波長

193nm ArF

248nm KrF

308 XeCl

351 XeF

脈沖能量max. (mJ) IPEX-840

230

450

300

275

脈沖能量max. (mJ) IPEX-860

250

700

600

350

穩定脈沖能量 (mJ) IPEX-840

150

400

250

225

穩定脈沖能量 (mJ) IPEX-840

200

600

500

300

 

穩定平均功率 (W)

 

IPEX-848

30

80

50

45

IPEX-846

15

40

25

22

IPEX-844

6.0

20

12

11

IPEX-842

3.0

10

6.0

5.5

IPEX-868

20

60

50

30

IPEX-866

10

30

25

15

IPEX-864

5.0

18

10

9

IPEX-862

2.5

9.0

5.0

4.5






重復頻率max. (Hz)

 

IPEX-848

200

200

200

200

IPEX-846

100

100

100

100

IPEX-844

40

50

50

50

IPEX-842

20

25

25

25

IPEX-868

100

100

100

100

IPEX-866

50

50

50

50

IPEX-864

25

30

20

30

IPEX-862

12

15

10

15

 

脈沖持續時間:12 至 20 ns FWHM

能量穩定性,1 Sigma:1% (KrF)

光束尺寸 (mm) (V x H):IPEX-740 系列 12 x 26

光束尺寸 (mm) (V x H):IPEX-760 系列 12 x 28

光束發散度 (mrad) (V x H):1 x 3 或者可以使用高亮度不穩定諧振器光學器件降低到 0.25mrad

電源要求:單相,200 - 240 V 50/60Hz; 8x6:2.5kW, 8x4:1.5kW。8x2:1kW

冷卻要求:可選空氣冷卻至 25Hz 操作,水冷以更高的重復率

激光氣體:預混或單個氣瓶

重量:8x8 型號 400kg,8x6/8x4/8x2 型號:380kg

 


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