S54系列是具有中心通孔，二維θxθy軸方向運動的壓電偏擺臺，內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優化，使其角度偏移小，響應速度快。采用壓電陶瓷驅動實現偏轉范圍達±1mrad，分辨率可達0.05μrad，可選擇配置閉環傳感器實現0.1%F.S.的重復定位精度。

S54的臺體非常薄，厚度僅為20mm，80×80mm的中心通孔使其非常適用于亞微弧度精密光束調整、計量、定位等應用。

特點

• θx、θy偏擺運動

• 開環/閉環可供選擇

• 80×80mm通孔

• 分辨率高

• 適于加速度/角速度傳感器標定

電壓位移曲線

應用

S54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用于激光合束等應用。

技術參數

型號：S54.T2

運動自由度：θx、θy

偏擺角度(0~120V)：±0.8mrad/軸（≈±165”）

偏擺角度(0~150V)：±1mrad/軸（≈±200”）

閉環傳感器：SGS

閉/開環分辨率：0.25μrad（≈0.05”）/0.05μrad（≈0.01”）

閉環線性度：0.2%F.S.

閉環重復定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：40/8N

運動方向剛度：0.5N/μm

空載諧振頻率：X450/Y400Hz

閉/開環空載階躍時間：20/3.5ms

閉環工作頻率（-3dB）：110Hz（空載）

承載能力：1 kg

工作溫度范圍：-20~80℃

靜電容量：3.6μF/軸

材質：鋁、鋼

重量：510g

出線長：1.5m