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利用芯明天壓電快速偏轉(zhuǎn)補(bǔ)償鏡,對(duì)實(shí)時(shí)采集的圖象與參考圖象間的相對(duì)位移量進(jìn)行補(bǔ)償、實(shí)時(shí)修正,可在確定的曝光時(shí)間內(nèi)得到高分辨率的圖像。
P35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是專為大行程偏轉(zhuǎn)補(bǔ)償應(yīng)用而設(shè)計(jì),可使得光束偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)86mrad(約4.9度,17700秒),非常適合高精度大行程角度的快速偏轉(zhuǎn)應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào):P35.T40
運(yùn)動(dòng)自由度:θx、θy
偏轉(zhuǎn)角度(0~120V):35或±17.5mrad(≈±3600”)
偏轉(zhuǎn)角度(0~150V):43或±21.5mrad(≈±4400”)
閉環(huán)傳感器類型:SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨率4/1μrad(≈0.8”/0.2”)
閉環(huán)線性度:0.02%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.014%F.S.
空載諧振頻率:1500Hz±20%
閉/開(kāi)環(huán)階躍時(shí)間(加載10.6g):10/1.2ms
閉環(huán)階躍時(shí)間(加載30g):25ms
靜電容量:7.2μF
材質(zhì):鈦、鋁
重量:335 g
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