a）分析速度高。測定用的時間與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　b）X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。

　　c）非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

　　d）X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

　　e）分析精密度高。

　　f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

　　當然，也有一些不足之處，具體如下：

　　a）難于作分析，故定量分析需要標樣。

　　b）對輕元素的靈敏度要低一些。

　　c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。