現如今，半導體器件、印刷電路板等電子器件在很多領域都得到廣泛應用，這些電子器件的性能直接影響整個系統的性能，它們的可靠性起到了很重要的作用。隨著電路板上元器件密度的日益增大，器件間的連接點只有微米級，常規的檢測手段受到了極大的限制，因為需要精度更高的測試方法。

光學微掃描顯微成像系統以其檢測速度快、精度高等特點受到廣泛關注。其原理是在系統中加入高精度壓電旋轉平臺，使顯微熱圖像在四個依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。

其中高精度壓電旋轉平臺以其旋轉角度大、精度高、響應速度快等特點，成為該系統中的核心器件。

芯明天P21為一維θz 壓電旋轉臺，產品體積小巧，大旋轉角度7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動鏡片做精密旋轉運動。

P21一維旋轉臺采用機構放大設計原理，體積小巧、結構緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉設備中。采用壓電陶瓷作為驅動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構，無摩擦、無回差，可以實現0.2μrad的分辨率。內置SGS傳感器配套閉環控制器可以實現微弧度的定位精度，在光路精密角度調整中起著非常重要的作用。

技術參數

型號：P21.R7

運動自由度：θz

旋轉角度(0~120V)：6mrad（≈1240”）

旋轉角度(0~150V)：7.5mrad（≈1500”）

閉環傳感器：SGS

閉/ 開環分辨率：0.4/0.2μrad

閉環線性度：0.5%F.S.

閉環重復定位精度：0.2%F.S.

推/拉力：10/5N

運動方向剛度：1 N/μm

空載諧振頻率：1.1kHz

閉/開環空載階躍時間：30/1.5ms

承載能力：0.1kg

靜電容量：1.8μF

材質：鋁

重量：105g