壓電物鏡定位器在激光切割上的應(yīng)用

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2020年06月16日 14:28

　　壓電物鏡定位器專為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測(cè)或觀測(cè)裝置可帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

　　激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器精確調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在切割材料上形成切縫從而達(dá)到切割的目的。

　　壓電物鏡定位器可快速調(diào)節(jié)聚焦點(diǎn)即加工點(diǎn)的位置，使其在目標(biāo)切割位置，聚焦行程可達(dá)110μm，分辨率可達(dá)2.5nm。該定位器為大負(fù)載Z軸運(yùn)動(dòng)壓電物鏡定位器，負(fù)載能力可達(dá)500g，Z軸直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)110μm，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無摩擦，直線性好，閉環(huán)型號(hào)定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號(hào)的顯微鏡。

　　納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是為了大負(fù)載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到z快的階躍時(shí)間。它極其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了非常快的穩(wěn)定時(shí)間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它具有較高的剛度，同時(shí)保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動(dòng)態(tài)性。

　　壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大負(fù)載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場(chǎng)物鏡。壓電物鏡定位器可匹配多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，也可以通過適配器與手動(dòng)調(diào)節(jié)臺(tái)相結(jié)合使用。

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