SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀助力半導(dǎo)體智能制造

來源：深圳市中圖儀器股份有限公司 2020年05月07日 11:48

隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，8 inch和12 inch晶圓已成行業(yè)主流，為適應(yīng)現(xiàn)代化智能制造工廠生產(chǎn)管理需求，中圖儀器在SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀基礎(chǔ)上進行升級，推出了新一代于半導(dǎo)體行業(yè)大尺寸晶圓自動化檢測的W3型光學(xué)3D表面輪廓儀。

SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀，為半導(dǎo)體行業(yè)微觀檢測量身打造，具有多個顯著的優(yōu)點：

1.大300*300mm的行程，可適配12inch及以下的所有尺寸的晶圓；

2.同時兼容12inch及以下規(guī)格的真空吸盤，一臺設(shè)備，即可適用于多條產(chǎn)線；

3.可編程自動化測量，使用“低倍搜索，高倍測量”的方式，可以快速實現(xiàn)多區(qū)域的高精度定位測量。

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