X射線熒光光譜法是元素分析的主要手段之一，在元素分析中具有制樣簡單、無損、快速、不破壞樣品、可以多元素同時分析等優(yōu)點。
X射線熒光光譜儀就是這樣一種分析儀器，目前市場上使用比較多的兩種型號是能量色散型和波長色散型的X射線熒光光譜儀。但這種傳統(tǒng)的儀器有時候靈敏度不夠高，無法滿足微量或痕量應(yīng)用領(lǐng)域的檢測需求，因此這制約了它的發(fā)展。
近年來，X射線熒光光譜技術(shù)飛躍發(fā)展，在多項核心技術(shù)取得突破，一種高靈敏度的X射線熒光光譜儀應(yīng)運而生，它也可以稱為單波長激發(fā)-能量色散X射線熒光光譜儀，采用微焦斑X射線管，依靠全聚焦型雙曲面彎晶將X射線管出射譜中靶材高強特征射線單色化取出并聚焦到被測樣品點，由于單色化入射，避免了由于X射線管出射譜中連續(xù)軔致輻射造成的背景干擾，從而大幅提升被測元素?zé)晒馍渚€的信噪比，同時采用高分辨率硅漂移探測器窗口接近樣品測試點，取得樣品中元素?zé)晒馍渚€的極大立體角，進一步提升元素?zé)晒馊肷涞教綔y器的射線強度。
高靈敏度X射線熒光光譜儀原理：
X射線光管出射譜由靶材的特征X射線分立譜以及軔致輻射連續(xù)譜組成，這些射線入射到樣品中，激發(fā)樣品中元素特征X射線的同時，又會產(chǎn)生入射譜的康普頓散射和瑞利散射，探測器同樣會接收到這些散射背景，從而造成了連續(xù)背景信號的干擾，降低了元素檢測的峰背比，使樣品中微量或痕量元素難以被檢出。
X射線管出射譜由連續(xù)譜線和特征譜線組成，全聚焦型雙曲面彎晶僅衍射X射線光管出射譜中的高強度特征X射線，從而入射到樣品的X射線具有很好的單色性，因此從樣品出射的X射線除了樣品中的元素被激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線(線光譜)和單色入射線的瑞利散射和康普頓散射以外，不存在連續(xù)散射背景，從而保證待測元素特征線具有極低的背景干擾，被激發(fā)元素的熒光X射線用SDD(硅漂移探測器)檢測，得到高分辨和高靈敏度的測試結(jié)果。
高靈敏度X射線熒光光譜儀具備X射線熒光光譜儀無損、快速、多元素同時分析等特點，同時又具備高靈敏度的特點，其將X射線熒光的應(yīng)用領(lǐng)域不斷延伸，除了傳統(tǒng)X射線應(yīng)用領(lǐng)域外，新的領(lǐng)域成為高靈敏度X射線熒光光譜儀的市場，具有廣闊的市場前景。
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