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可別小看了壓電掃描臺的響應速度

來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2020年04月12日 15:20  
   壓電掃描臺的響應速度十分迅速,利用壓電陶瓷的形變驅動,以柔性鉸鏈為導向,采用硅高精度位移傳感器,并利用超低電子噪聲的控制器使位移平臺擁有緊湊的體積、亞微米的分辨率及超低底噪。被廣泛的應用于超分辨率顯微鏡,光學捕獲和原子力顯微鏡等領域。
  壓電掃描臺專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現XY軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。
  空式壓電平臺是指平臺臺面有透空通孔的平移臺。主要應用于透光精密光學器件的定位與調整,可與顯微鏡和分析設備結合使用用于定位與測量。如超分辨顯微鏡、原子力顯微鏡(AFM顯微鏡)生物學研究等。
  壓電掃描臺主要應用:
  1.圖像處理與穩定/掃描顯微;
  2.干涉/計量;
  3.表面檢測;
  4.晶圓定位/微操作。
  壓電掃描臺大行程穩定性好響應速度快,壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺可實現XY軸187.5×187.5μm的位移行程,優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

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