在計量學(xué)、超高分辨率顯微鏡、干涉測量等應(yīng)用系統(tǒng)中，對定位精度有著越來越高的要求，這就需要高性能的納米級壓電定位臺作為技術(shù)支持。為了實現(xiàn)納米級的精密定位，需要高精度的驅(qū)動方式和傳動方式，使定位臺達(dá)到納米級的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺利用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為傳動裝置構(gòu)成高精度定位系統(tǒng)可實現(xiàn)納米級精密定位。

       通常柔性鉸鏈摩擦的影響可以忽略不計，但是在納米定位要求中卻是相當(dāng)重要而不可忽略。芯明天納米定位臺采用的是柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用，實現(xiàn)高分辨率以及大位移行程。

       柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高、頻響高的超高精度納米定位臺。同時柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

       同時，壓電納米定位臺的行程也可通過機(jī)構(gòu)放大式柔性鉸鏈放大。壓電陶瓷被集成在柔性接頭內(nèi)，行程可擴(kuò)展至毫米級。

芯明天壓電納米定位臺

       芯明天壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像等系統(tǒng)。