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半導(dǎo)體氣體傳感器的敏感體主要是由半導(dǎo)體材料制成的，其中應(yīng)用為廣泛的半導(dǎo)體材料不是常見(jiàn)的硅、鍺半導(dǎo)體，而是金屬氧化物半導(dǎo)體，在氣體傳感器領(lǐng)域中應(yīng)用多的金屬氧化物是SnO2，ZnO，F(xiàn)e2O3，WO3等。
半導(dǎo)體式氣體傳感器的基本工作原理：就是在一定條件（溫度）下，在被測(cè)氣體到達(dá)半
導(dǎo)體表面并與吸附在半導(dǎo)體表面的氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的過(guò)程中伴隨電荷轉(zhuǎn)移，進(jìn)一步引起半導(dǎo)體電阻的變化，通過(guò)測(cè)量半導(dǎo)體電阻的變化就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的檢測(cè)。它的優(yōu)點(diǎn)主要是在低濃度氣體中輸出變化大、靈敏度高，使用壽命長(zhǎng)，選擇性相對(duì)比較好。
它缺點(diǎn)是線形度不好，所以只適合定性測(cè)量不適合定量測(cè)量。它在較高濃度下幾乎飽和，所以只能在濃度很底的情況下測(cè)量。另外他對(duì)毒性氣體的測(cè)量能力較差，所以現(xiàn)在的應(yīng)用范圍基本局限在對(duì)可燃?xì)怏w的測(cè)量。
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