高精度氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
高精度氣體流量計主要應用領域：
1、半導體制造行業的氣體流量控制。
2、分析儀器設備的氣體計量與控制。
3、各種形式的真空鍍膜設備。
4、環境檢測與分析設備。
5、化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制。
6、特種材料表面處理裝置與燃燒控制。
7、混氣配氣系統和泄漏探測系統等。
高精度氣體流量計特點：
1、采用主體不銹鋼(316L)結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。
2、適用于各種腐蝕性氣體。
3、氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準。
4、高精度；重復性好 。
5、響應速度快、軟啟動、穩定可靠。
6、低壓降。
7、工作壓力范圍寬(可以在高壓或真空條件下工作)。
8、操作使用方便，可任意位置安裝。
9、便于與計算機連接實現自動控制。
儀表網手機版
儀表網小程序
公眾號：ybzhan
掃碼關注視頻號
手機版
官方微信
采購中心
