臭氧是一種強氧化劑，氧化還原電位2.07V，氧化性僅次于氟，可氧化降解大多數有機物，包括不飽和化合物、芳香族化合物、難生物降解有機物和危險有機物。臭氧催化氧化在催化劑作用下形成的·OH與有機物的反應速率更高、氧化性更強，幾乎可以氧化所有的有機物，如小分子有機酸、醛等，提高了有機物去除率，同時還具有較好的脫色、除臭殺菌作用口“。臭氧催化氧化對食品廢水、印染廢水、造紙廢水、煉油和化工廢水等有機污染物去除率在50%～70%左右，在合適催化條件下部分有機物去除率可達到90%以上。

近些年來，在臭氧氧化的基礎上又出現了一些臭氧聯合氧化法，如臭氧一過氧化氫、臭氧一超聲波、臭氧一紫外光、光催化臭氧、金屬催化臭氧等Ⅲ]。這些臭氧聯用技術都大大提高了臭氧氧化效率，但會增加處理成本，工業應用較少，目前還處于實驗室的研究階段。

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