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1、真空度傳感器界說
真空度傳感器,采取進(jìn)步的硅微機(jī)器加工技巧出產(chǎn),以集成硅壓阻力敏元件作為傳感器的中心元件制成的相對壓力變送器,因為采取硅-硅直接鍵合或硅-派勒克斯玻璃靜電鍵合構(gòu)成的真空參考壓力腔,及一系列無應(yīng)力封裝技巧及精細(xì)溫度彌補(bǔ)技巧,因此存在穩(wěn)固性精良、精度高的凸起長處,實用于種種情形下相對壓力的丈量與把持。
2、真空度傳感器的感化
真空度傳感器感化根本都是起測缸內(nèi)所需焚燒的氛圍比度,如骨氣門或怠速閥門的開啟,所起缸某缸任務(wù)在進(jìn)氣時缸內(nèi)與缸外的氛圍成正比差
3、真空度傳感器特色及用處
采取低量程芯片真空絕壓封裝,產(chǎn)物存在高的過載才能。芯片采取真空充注硅油斷絕,不銹鋼薄膜過渡通報壓力,存在精良的介質(zhì)兼容性,實用于對316L不銹鋼不腐化的絕年夜少數(shù)氣液體介質(zhì)真空壓力的丈量。真空度傳感器利用于種種產(chǎn)業(yè)情況的低真空丈量與把持。
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