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東莞市普諾克真空科技有限公司

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低真空抽氣機組和油擴散泵真空系統污染與防治

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一、低真空裝置的污染及其處理

低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等要求具有工作壓力高 、排氣量大的低真空泵抽氣機組,這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣噴射泵、水環泵、羅茨泵等。使用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、干燥罐等部件。

水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴,并與泵混合形成懸浮液,不僅會使真空度下降,也能使泵腔與轉子生銹,破壞密封面,使泵的極限真空度下降。為此,防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。普諾克真空科技防止的措施有:

1、選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵;

2、裝油分離器、離心式分離器或油水分離器,將混有水的機械泵油進行處理,處理過的油再流入泵中使用;

3、使用吸水性強的干燥劑;

4、使用液氮冷阱,不僅能有效地吸附水蒸氣,同時還可以阻擋機械泵油向高真空室返流。

二、油擴散泵真空系統污染與防治

油擴散泵真空系統是使用廣泛的真空系統,其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置,*使用后,常見的故障是真空度抽不上去,或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關,普諾克真空科技防止的辦法是:

1、定期清洗真空室;

2、定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵進行清洗。

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