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雙電測四探針測試儀

時間:2023/3/6閱讀:207
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采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不,知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。,這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。
采用了四探針雙位組合測量新,,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針電壓探針的變換,在計算機控制下進行兩次電測量,把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和   機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,然后以表格圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果;
,參數(shù):
適用晶片尺寸:2"~12"(配套探針臺);
測量范圍 - 電阻率:10-5~105 Ω·cm(可擴展)
方塊電阻:10-4~106Ω/□(可擴展)
電導(dǎo)率:10-5~105s/cm; 
電阻:10-5~105Ω;
可測晶片厚度:≤3.00mm
恒流源:電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,%檔電流連續(xù)可調(diào);



采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不,知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。,這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。
采用了四探針雙位組合測量新,,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針電壓探針的變換,在計算機控制下進行兩次電測量,把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和   機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,然后以表格圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果;
,參數(shù):
適用晶片尺寸:2"~12"(配套探針臺);
測量范圍 - 電阻率:10-5~105 Ω·cm(可擴展)
方塊電阻:10-4~106Ω/□(可擴展)
電導(dǎo)率:10-5~105s/cm; 
電阻:10-5~105Ω;
可測晶片厚度:≤3.00mm
恒流源:電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,%檔電流連續(xù)可調(diào);


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