實(shí)驗(yàn)儀是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺，能夠很直觀反映真空獲得的，過程。由真空獲得部分、真空鍍膜和電控及儀表等部分組成，結(jié)構(gòu)合理，運(yùn)行，，，適合于對學(xué)生開展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué)。
1、真空的獲得與測量；
2、蒸發(fā)法薄膜制備；
主要，特點(diǎn)：
1 設(shè)備的真空反應(yīng)室、油擴(kuò)散泵、真空管路部件，透明；
2 電氣控制有，%護(hù)，%止誤操作對操作人員和設(shè)備造成的損傷；
3 管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合，閥門為電控雙向截止閥，真空室內(nèi)有烘烤除氣設(shè)備；
4 一機(jī)多用的功能，針對高校開展綜合性、設(shè)計(jì)性和開放性實(shí)驗(yàn)的要求，預(yù)留有大空間的真空室，在配置一些組件后，就能方便開設(shè)其他擴(kuò)展實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目。
主要，參數(shù)：
1、φ230mm×255mm硬質(zhì)玻璃真空室；
2、采用機(jī)械泵、四，玻璃質(zhì)油擴(kuò)散泵兩，真空系統(tǒng)，擴(kuò)散泵油量125～140ml，帶水冷；
3、真空度：開機(jī)60分鐘后可達(dá)6×10-3Pa，，限真空度：9.6×10-4Pa；恢復(fù)真空時(shí)間＜40分鐘；
4、采用一對無氧銅電，蒸發(fā)電，，電，間距70mm，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源，蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍：0~150A；
5、襯底可加熱。襯底加熱溫度范圍：室溫~200℃；
6、工作電壓：AC220V±5%，50Hz，整機(jī)功率3.5KW；
7、工作環(huán)境要求：溫度低于30℃，濕度≤70%；冷卻水溫度22℃±3℃，水循環(huán)用戶自備。