表面粗糙度輪廓儀的接觸式，即采用觸針法。觸針法又稱針描法，它是將一個很尖的觸針(半徑可以做到微米量級的金剛石針尖)垂直安置在被測表面上作橫向移磯觸針將隨著被測表面輪廓形狀作垂直起伏運魂將這種微小位移通過電路轉換成電信號并加以放大和運算處理，即可得到工作表面粗糙度參數值，主要分為電感式壓電式感應式等幾種。這種儀器穩定性好，示數客觀可靠，使用方便等優點，其垂直分辨力可達到幾納米。

其優點：測量范圍大、分辨率高、測量結果穩定可靠、重復性好。但是也存在很多的缺點：(1)金剛石測量頭的硬度一般很高，易劃傷工件，不適宜測量高質量和軟質材料表面。(2)為滿足測量頭頭部的耐磨性和剛度要求，測量頭不能做的過于細小和尖銳，易影響測量精度。(3)測量微觀表面輪廓時，為了保證掃描路徑方向上的精度和橫向分辨率，進給步距很小，所以測量速度不高。