光干涉透射法檢測元件厚度差的原理：
在激光干涉儀進行透射測量時，激光光源發出的單色光,垂直向下經過被檢元件上、下兩表面被標準反射鏡反射后會形成干涉條紋，每個點上所生的干涉條紋取決于該點上兩相干的光的光程差。當光程差為nλ+0.5λ時，顯示為暗條紋；當光程差為nλ+λ時，顯示為亮條紋；
所以，當被檢元件的兩個面不平行，存在楔角時，沿楔角方向，元件的厚度逐漸增大，相應的光程差也逐漸變大，沿楔角方向就會產生間隔分布亮暗條紋。楔角越大，條紋越密集。

檢測指標的簡單說明：
PV值在數學上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即值和最小值的差值。單位是λ(波長)。對應到干涉儀透射檢測上，就是被檢元件的厚度差。

RMS值在數學上的定義是均方根值(root-mean-square)，單位是λ(波長),這是一個統計值，RMS的大小反映了這些數據值的離散程度。對應到干涉儀透射檢測上，RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。

條紋根數是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現，與PV值成線性關系。條紋根數越少表明被檢元件的厚度差越小。

技術參數：

實物圖：