盡量提高傳感器的電容，可以提高傳感器的靈敏度。由于幾何尺寸的限制，無論是何種型式的電容傳感器，其電容量都很小。傳感器初始電容一般在C=20~200pF，動(dòng)極板相對(duì)位移量，單電容式一般取Δd/d=0.15~0.2mm，差動(dòng)式為Δd/d=0.3~0.5mm.極板距離d值小至      10~20μm。極板應(yīng)有較高的表面粗糙度和平整度。提高傳感器電容的另一種辦法是在極板間選用介電常數(shù)大的絕緣材料。

傳感器的小電容量變化，注定它易受外界擾動(dòng)的影響。分布電容會(huì)降低傳感器的靈敏度。為此，應(yīng)盡量減小傳感器連接電纜的長(zhǎng)度，并采用雙層屏蔽電纜，同時(shí)將電容傳感器置于金屬屏蔽罩內(nèi)，并采用集成化的測(cè)量電路。