類型

工作頭

適用控制器

VR-3000K

觀察測(cè)量范圍

大視野模式

15 英寸顯示器上的倍率 12x

橫(H)

24mm

縱(V)

18mm

15 英寸顯示器上的倍率 25x

橫(H)

12mm

縱(V)

9mm

15 英寸顯示器上的倍率 38x

橫(H)

8mm

縱(V)

6mm

15 英寸顯示器上的倍率 50x

橫(H)

縱(V)

4.5mm

高倍率模式

15 英寸顯示器上的倍率 40x

橫(H)

7.6mm

縱(V)

5.7mm

15 英寸顯示器上的倍率 80x

橫(H)

3.8mm

縱(V)

2.9mm

15 英寸顯示器上的倍率 120x

橫(H)

2.5mm

縱(V)

1.9mm

15 英寸顯示器上的倍率 160x

橫(H)

縱(V)

1.4mm

變焦

1 至 4 倍

可測(cè)量高度

大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)^*1

顯示分辨率

0.1 µm^*2

重復(fù)精度(б)

高度測(cè)量

0.5µm^*3

寬度測(cè)量

大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm^*3

測(cè)量精度

高度測(cè)量

±3 µm^*3

寬度測(cè)量

大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm^*3

連接功能

全自動(dòng)(XY 自動(dòng)控制+ 自動(dòng)對(duì)焦)測(cè)量^*4
自動(dòng)調(diào)整、自動(dòng)模板解析^*4

載物臺(tái)

XY 行程

184 × 88 mm(電動(dòng))

Z 行程

90 mm(電動(dòng))

旋轉(zhuǎn)構(gòu)造

±180°（試料旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)）

傾斜構(gòu)造

±30° 以上

操作距離

75 mm

圖像接收元件

1 英寸 400 萬(wàn)像素單色 C-MOS

投光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭 x2

受光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

LED 環(huán)形照明(紅、綠、藍(lán))

測(cè)量用光源

白色 LED

圖像尺寸

1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix

數(shù)據(jù)處理部

基恩士專用 PC(OS 為 Windows7)^*5

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

功率消耗

150 VA

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

+15 至 +30 °C

相對(duì)濕度

35 至 80 % RH (無(wú)凝結(jié))

重量

28.0 kg

類型

工作頭

適用控制器

VR-3000K

觀察測(cè)量范圍

大視野模式

15 英寸顯示器上的倍率 12x

橫(H)

24mm

縱(V)

18mm

15 英寸顯示器上的倍率 25x

橫(H)

12mm

縱(V)

9mm

15 英寸顯示器上的倍率 38x

橫(H)

8mm

縱(V)

6mm

15 英寸顯示器上的倍率 50x

橫(H)

縱(V)

4.5mm

高倍率模式

15 英寸顯示器上的倍率 40x

橫(H)

7.6mm

縱(V)

5.7mm

15 英寸顯示器上的倍率 80x

橫(H)

3.8mm

縱(V)

2.9mm

15 英寸顯示器上的倍率 120x

橫(H)

2.5mm

縱(V)

1.9mm

15 英寸顯示器上的倍率 160x

橫(H)

縱(V)

1.4mm

變焦

1 至 4 倍

可測(cè)量高度

大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)^*1

顯示分辨率

0.1 µm^*2

重復(fù)精度(б)

高度測(cè)量

0.5µm^*3

寬度測(cè)量

大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm^*3

測(cè)量精度

高度測(cè)量

±3 µm^*3

寬度測(cè)量

大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm^*3

連接功能

全自動(dòng)(XY 自動(dòng)控制+ 自動(dòng)對(duì)焦)測(cè)量^*4
自動(dòng)調(diào)整、自動(dòng)模板解析^*4

載物臺(tái)

XY 行程

184 × 88 mm(電動(dòng))

Z 行程

90 mm(電動(dòng))

旋轉(zhuǎn)構(gòu)造

±180°（試料旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)）

傾斜構(gòu)造

±30° 以上

操作距離

75 mm

圖像接收元件

1 英寸 400 萬(wàn)像素單色 C-MOS

投光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭 x2

受光鏡頭

雙遠(yuǎn)心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

LED 環(huán)形照明(紅、綠、藍(lán))

測(cè)量用光源

白色 LED

圖像尺寸

1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix

數(shù)據(jù)處理部

基恩士專用 PC(OS 為 Windows7)^*5

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

功率消耗

150 VA

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

+15 至 +30 °C

相對(duì)濕度

35 至 80 % RH (無(wú)凝結(jié))

重量

28.0 kg