| 量程 | X方向 | 50mm |
| Z方向 | ±500μm |
| 分辨率 | X方向 | 0.0016μm/±50μm ~ 0.016μm/±500μm |
| 驅動器 | 直線度 | 1μm/50mm |
| 分析算法 | 對應標準 | JIS-82、JIS-87、JIS-94、JIS-01、JIS-13、ISO-84、ISO-97、DIN-90、ASME-95、GB-14 |
| 參數 | 粗糙度輪廓 | Ra75、Rq、Rp、Rv、Rc、Rt、S、R3z、PPI、Ra、Rsk、Rku、Ry、Sm、RΔa、RΔq、Rz、Pc、Rλa、Rλq、lr、RSm、Rz94、RPc、RS、Rz.I、Rpm、HSC |
| 波紋度輪廓 | WCA、WCC-q、WCC-p、WCC-v、WCC-m、WCC-Sm、WCA、WC-q、WC-p、WC-v、WCM、WC-Sm、WC-t、Wa、Wq、Wsk、Wku、Wp、Wv、Wz、Wc、Wt、WSm、WΔq、WPc |
| 原始輪廓 | Rsk、Rku、Rmax、Sm、Δa、Δq、Rz、λa、λq、lr、TILT A、AVH、Hmax、Hmin、AREA、Rz.J、Pa、Pq、Psk、Pku、Pp、Pv、Pc.I、Pt、PSm、PΔq、PPc、Pc |
| 支承率曲線 | Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、V0、K、A1、A2 |
| 圖形 | NCRX、AR、R、Rx、NR、CPM、SR、SAR、AW、W、Wx、Wte、NW、SW、SAW、Rke、Rpke、Rvke、Mr1、Mr2、V0、K |
| 評定曲線 | 粗糙度輪廓、波紋度輪廓、原始輪廓、支承率曲線、圖形 |
| 特征曲線 | 支承率曲線(Rmr(c)、Rmr2(c)、Rδc(c)、tp(c)、tp2(c)、Htp(c))、幅頻分析曲線、振幅分布曲線 |
| 形狀去除 | 全域、前半、后半、中心、2點、曲線 |
| 濾波器類型 | Gaussian、FFT、PC、DP、2RC |
| 濾止波長 | λs | 0、2.5、8、25μm |
| λc | 0.08、0.25、0.8、2.5、8mm |
| λf | 0.8、2.5、8、25mm |
| 評定長度 | 取樣長度 × 取樣個數 （取樣長度有標準模式與自定義模式） |
| 測量速度 | 0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s |
| 回程速度 | 0.05mm/s、0.10mm/s、0.50mm/s、1.00mm/s、2.00mm/s |
| 傳感器 | 型號 | 標準通用型 |
| 傳感器方式 | 差動電感 |
| 量程 | ±500μm |
| 測針 | 5μmR金剛石90° |
| 測力 | 7.5mN以下可調 |
| 操作機 | 顯示部分 | 10寸彩色IPS觸摸屏 |
| 數據輸出 | TF卡/U盤/WiFi打印/PDF文件 |
| 對應語言 | 中文/英文 |
| 尺寸及質量 | 電源/消耗 | AC220V±10% 內置充電電池（AC變壓器充電） 充電時間8小時 |
| 耗電量 | 約30VA（充滿電后可以測量800次） |
| 質量 | 干重4Kg 含包裝8Kg |
| 設置尺寸 | 執行器 80（W）×392（L）×180（H） 操作器 245（W）×162（D）×68（H） |
