182藍(lán)寶石壓力變送器
一、工作原理
該產(chǎn)品的核心部件是用藍(lán)寶石異質(zhì)外延技術(shù)制成的硅－藍(lán)寶石壓力彈性敏感元件，采用
鈦?藍(lán)寶石雙重膜片結(jié)構(gòu)。藍(lán)寶石襯底上用外延技術(shù)、光學(xué)刻蝕技術(shù)形成硅應(yīng)變電阻電
橋，藍(lán)寶石－硅膜片與鈦合金膜片采用高溫微熔焊技術(shù)封接成一個(gè)整體。藍(lán)寶石襯底的絕
緣電阻*，而且不隨溫度的變化而變化，其理論工作溫度可以高達(dá)450℃；此外，藍(lán)寶石
絕緣性還有很強(qiáng)抗核輻射能力。敏感元件采用干法測量方式，即沒有隔離膜片及灌充介
質(zhì)，被測介質(zhì)直接與鈦合金膜片接觸，整機(jī)為全焊接結(jié)構(gòu)。
二、產(chǎn)品用途
航空、航天、船舶、電力、核電站、石油、化工化纖、食品加工、筑路機(jī)械等。
三、技術(shù)指標(biāo)
測量對象　　　　　　　　腐蝕性液體、氣體
量　　程　　　　　　　　表壓：0～40kPa～250MPa
輸　　出　　　　　　　　4～20mA（兩線制）
電　　源　　　　　　　　13～36VDC
過載能力　　　　　　　　0.04～10Mpa量程，2倍過載
　　　　　　　　　　　　10～40Mpa量程，1.5倍過載
　　　　　　　　　　　　40Mpa以上量程，1.25倍過載
介質(zhì)溫度范圍　　　　　　－40℃～＋175℃
放大電路工作溫度　　　　－40℃～＋85℃；或 －55℃～＋125℃
精度等級　　　　　　　　0.1%FS、0.25%
穩(wěn) 定 性　　　　　　　　±0.25%/y
電子艙體防護(hù)等級　　　　IP65
電器連接　　　　　　　　G1/2電纜密封套
過程連接　　　　　　　　M20×1.5（標(biāo)準(zhǔn)型）
膜　　片　　　　　　　　鈦合金
過程連接件　　　　　　　不銹鋼1Cr18Ni9Ti

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