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壓力傳感器工作原理及特點 | |
壓力傳感器工作原理及特點 壓阻式壓力傳感器采用集成電路工藝技術,在硅片上制造出四個等值的薄膜電阻并組成電橋電路,當不受力作用時,電橋處于平衡狀態,無電壓輸出;當受到壓力作用時,電橋失去平衡而輸出電壓,且輸出的電壓與壓力成比例。 壓阻式壓力傳感器具有以下特點: ①壓阻式壓力傳感器的靈敏系數比金屬應變式壓力傳感器的靈敏度系數要大50-100倍。有的時候壓阻式壓力傳感器的輸出不需要放大器就可直接進行測量。 ②由于它采用集成電路工藝加工,因而結構尺寸小,重量輕。 ③壓力分辨率高,它可以檢測出像血壓那么小的微壓。 ④頻率響應好,它可以測量幾十千赫的脈動壓力。 ⑤由于傳感器的力敏元件及檢測元件制在同一塊硅片上,所以它工作可靠,綜合精度 高,且使用壽命長。 ⑥由于采用半導體材料硅制作,傳感器對溫度比較敏感,如不采用溫度補償,其溫度誤差較大。 |
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