北京燕京電子有限公司
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
反應艙 | 材料:鋁 有效尺寸:直徑230mm x 深度250mm 容積:10.4升 艙門:裝有可視窗口 托盤:訂制 |
真空度測量 | 皮拉尼真空計 |
真空泵 | 二級旋片式真空泵,3m3/h |
頻射發生器 | 0~600W可調,2.45GHz發生器 |
控制系統 | PLC可實現下列功能: l 自動控制反應過程; l 根據處理材料設定不同的處理工藝參數; l 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標; l 監測所有的運行指標,保證各項參數在設定范圍之內; l 設定操作、維護密碼。 |
電源 | 220V AC, 50Hz, 16A |
反應氣體 | 一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC) |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸(6.35mm) 管道;輸入壓力:1Bar |
安全性能 | 急停開關;真空泵保護鎖;高溫保護鎖;CE安全認證。 |
用途:
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件:
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