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行業(yè)產(chǎn)品

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北京燕京電子有限公司


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SR500 光譜反射薄膜測厚儀

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SR500

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:趙先生查看聯(lián)系方式

更新時間:2018-05-15 15:45:10瀏覽次數(shù):496次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:30條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:趙先生 (市場部)

產(chǎn)品簡介

測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

詳細介紹



基本功能

1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)

2,實現(xiàn)薄膜均勻性檢測

3,實現(xiàn)反射、投射以及顏色測量

產(chǎn)品特點

l  強大的數(shù)據(jù)運算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫;

l  簡便、易行的可視化測試界面,可根據(jù)用戶需求設(shè)置不同的參數(shù);

l  快捷、準確、穩(wěn)定的參數(shù)測試;

l  支持多功能配件集成以及定制;

l  支持不同水平的用戶控制模式;

l  支持多功能模擬計算等等。

系統(tǒng)配置

l  型號:SR500R

l  探測器: 2048像素的CCD線陣列

l  光源:高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素燈

l  光傳送方式:光纖

l  臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量,200mmx200mm的大小

l  軟件: TFProbe 2.2版本的軟件

l  通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連

l  測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率

l  電腦硬件要求:P3以上、zui低50 MB的空間

l  電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

l  保修:一年的整機及零備件保修

規(guī)格

l  波長范圍:250nm到1700 nm

l  光斑尺寸:500μm至5mm

l  樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm

l  基板尺寸:zui多可至50毫米厚

l  測量厚度范圍*:2nm?150μm

l  測量時間:zui快2毫秒

l  精確度*:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)

l  重復(fù)性誤差*:小于1 ?

可選配件項

l  用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR500RT) ??

l  zui低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP500)

l  在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR500xX)

l  在超過200或300毫米晶片上所進行的統(tǒng)一測繪(SRM500-200/300)

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域:

l  玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽能…)

l  半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride…)

l  液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

l  醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等

l  油墨,礦物學(xué),顏料,調(diào)色劑等

l  醫(yī)藥,中間設(shè)備

l  光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半導(dǎo)體化合物

l  在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

l  非晶體,納米材料和結(jié)晶硅

 



關(guān)鍵詞:通訊接口 橢偏儀

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