北京燕京電子有限公司
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測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
基本功能 | 1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數 2，實現薄膜均勻性檢測 3，實現反射、投射以及顏色測量 |
產品特點 | l 強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫； l 簡便、易行的可視化測試界面，可根據用戶需求設置不同的參數； l 快捷、準確、穩定的參數測試； l 支持多功能配件集成以及定制； l 支持不同水平的用戶控制模式； l 支持多功能模擬計算等等。 |
系統配置 | l 型號：SR300 l 探測器： 2048像素的CCD線陣列 l 光源：高穩定性、長壽命的鹵素燈 l 光傳送方式：光纖 l 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節樣品重量，200mmx200mm的大小 l 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件 l 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連 l 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率 l 電腦硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空間 l 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A l 保修：一年的整機及零備件保修 |
規格 | l 波長范圍：400nm到1100 nm l 光斑尺寸：500μm至5mm l 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm l 基板尺寸：zui多可至50毫米厚 l l 測量時間：zui快2毫秒 l 精確度*：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較） l 重復性誤差*：小于1 ? |
可選配件項 | l 用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR300RT) ?? l zui低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP300) l 在多個位置下，多個通道用于同時測量 (SR300xX) l 在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪（SRM300-200/300） |
應用領域 | 主要應用于透光薄膜分析類領域： l 玻璃鍍膜領域（LowE、太陽能…） l 半導體制造（PR，Oxide, Nitride…) l 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap...） l 醫學，生物薄膜及材料領域等 l 油墨，礦物學，顏料，調色劑等 l 醫藥，中間設備 l 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. l 半導體化合物 l 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜 l 非晶體，納米材料和結晶硅 |
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