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臭氧發生器氧化脫硝工藝流程：

臭氧通過不銹鋼管道被輸送到煙道分配擴散系統，通過均勻分布的分配器被注入到含有氮氧化物的原煙氣反應系統中。反應系統提供臭氧的均勻分布，并且足夠混合，使之急速反應。因臭氧與NOx的反應速度極快，在反應器的設計時不需考慮很長的停留時間，使臭氧與氮氧化物充分反應，將不溶性的NO氧化成為NO2。

臭氧的在均勻分配器中均勻分布，與煙氣中的氮氧化物充分接觸碰撞進行反應是整個脫硝系統的核心和關鍵。一般需要進行反應器的流場模擬(CFD)和化學反應模擬(CKM)，根據模擬的情況結合以往的工程經驗進行優化設計，以確保脫硝的效率。

臭氧氧化反應過程十分激烈, 同時在脫硫塔位置亦會被噴淋漿液重復性洗滌吸收, 即便是當下臭氧沒有和NO充分反應,
不過在隨后的工藝環節中還是能夠順利地分解出氧氣, 因此zui終向大氣排放出的臭氧可以忽略不計。