SMC真空過濾器有三個系列：ZFA、ZFB、ZFC。這三種系列的真空過濾器結構原理圖分別如下。
SMC ZFA系列真空過濾器是箱式結構，便于集成化。濾芯呈疊褶形狀，故過濾面積大，可通過流量大，使用周期長。
SMC ZFB系列真空過濾器是管式連接。由于使用了萬向接頭，配管可在360°范圍內自由安裝。使用快換接頭，裝卸配管迅速。
SMC ZFC系列真空過濾器是小型直通式（進出口在一條線上）快換接頭連接，不需工具便可更換濾芯。當過濾器兩端壓降大于0.02MPa時，濾芯應拆下清洗或更換。

SMC真空過濾器的作用真空過濾器是將從大氣中吸入的污染物（主要是塵埃）收集起來，以防止真空系統中的元件受污染而出現故障。故吸盤與真空發生器（或真空閥）之間，應設置真空過濾器。真空發生器的排氣口、真空閥的吸氣（或排氣口）和真空泵的排氣口也都應裝上消音器，這不僅降低噪聲而且能起過濾作用，以提高真空系統工作的可靠性。
對真空過濾器的要求是，濾芯污染程度的確認簡單，清掃污染物容易，結構緊湊，不致使真空到達時間增長

SMC真空過濾器    ZFC101-07B
SMC真空過濾器    ZFC200-06B
SMC真空過濾器    ZFC200-08B
SMC真空過濾器    ZFC201-07B
SMC真空過濾器    ZH05BL-01-01
SMC真空過濾器    ZH05BL-06-01
SMC真空過濾器    ZH05BL-06-06
SMC真空過濾器    ZH05BS-01-01
SMC真空過濾器    ZH05BS-06-01
SMC真空過濾器    ZH05BS-06-06
SMC真空過濾器    ZH05DL-06-06-06
SMC真空過濾器    ZH05DS-01-01-01
SMC真空過濾器    ZH05DS-06-06-06
SMC真空過濾器    ZH07BL-06-01
SMC真空過濾器    ZH07BL-06-06
SMC真空過濾器    ZH07BS-01-01
SMC真空過濾器    ZH07BS-06-01
SMC真空過濾器    ZH07BS-06-06
SMC真空過濾器    ZH07DL-01-01-01
SMC真空過濾器    ZH07DL-06-06-06
SMC真空過濾器    ZH07DS-01-01-01
SMC真空過濾器    ZH07DS-06-01-06
SMC真空過濾器    ZH07DS-06-06-06
SMC真空過濾器    ZH10BL-01-01
SMC真空過濾器    ZH10BL-06-01
SMC真空過濾器    ZH10BL-06-06
SMC真空過濾器    ZH10BS-01-01
SMC真空過濾器    ZH10BS-06-01
SMC真空過濾器    ZH10BS-06-06
SMC真空過濾器    ZH10DL-01-01-01
SMC真空過濾器    ZH10DL-06-06-08
SMC真空過濾器    ZH10DS-01-01-01
SMC真空過濾器    ZH10DS-06-01-08
SMC真空過濾器    ZH10DS-06-06-06
SMC真空過濾器    ZH10DS-06-06-08
SMC真空過濾器    ZH10DS-08-06-06
SMC真空過濾器    ZH13BL-01-02
SMC真空過濾器    ZH13BL-08-02
SMC真空過濾器    ZH13BL-08-10
SMC真空過濾器    ZH13BS-01-02
SMC真空過濾器    ZH13BS-08-02
SMC真空過濾器    ZH13BS-08-10
SMC真空過濾器    ZH13DL-01-02-02
SMC真空過濾器    ZH13DL-08-10-10
SMC真空過濾器    ZH13DS-01-02-02
SMC真空過濾器    ZH13DS-08-02-10
SMC真空過濾器    ZH13DS-08-10-10
SMC真空過濾器    ZH15DL-02-03-03
SMC真空過濾器    ZH15DS-02-03-03
SMC真空過濾器    ZH15DS-10-12-12
SMC真空過濾器    ZH18DL-12-12-12
SMC真空過濾器    ZH18DS-03-03-03
SMC真空過濾器    ZH18DS-12-12-12
SMC真空過濾器    ZH20DL-03-04-04
SMC真空過濾器    ZH20DLT03T04T04
SMC真空過濾器    ZH20DS-03-04-04
SMC真空過濾器    ZH20DS-12-12-12
SMC真空過濾器    ZH20DS-12-16-16
SMC真空過濾器    ZHI10BS-07-07
SMC真空過濾器    ZL112
SMC真空過濾器    ZL112-E25
SMC真空過濾器    ZL112-E25L
SMC真空過濾器    ZL112-E26
SMC真空過濾器    ZL112-E65
SMC真空過濾器    ZL112-E65L
SMC真空過濾器    ZL112-G