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北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第13年

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專用設(shè)備儀器
顆粒狀農(nóng)藥粉塵測(cè)定儀 前照燈檢測(cè)儀遠(yuǎn)近光校準(zhǔn)器 便攜式電子井深儀 自動(dòng)膏藥軟化點(diǎn)測(cè)定儀 (碘量法)天然氣硫化氫測(cè)定儀 自動(dòng)生石灰活性測(cè)定儀 泵吸式氣體檢測(cè)報(bào)警儀 觸屏智能型鹽霧試驗(yàn)機(jī) 全自動(dòng)開(kāi)口閃點(diǎn)測(cè)定儀 差熱分析儀 煙霧發(fā)生器 電石發(fā)氣量測(cè)定裝置 原砂比表面積測(cè)定儀 自動(dòng)藥物錐入度試驗(yàn)器 淬火介質(zhì)冷卻性能測(cè)定儀 紫外線光強(qiáng)度照度計(jì) 智能顆粒強(qiáng)度測(cè)定儀 裂縫綜合測(cè)試儀 (測(cè)寬測(cè)深一體機(jī)) 食用油品質(zhì)檢測(cè)儀 靶式光源儀 屏幕亮度計(jì) 多路溫度測(cè)試儀 高精度材料導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試儀 纖維細(xì)度及截面分析儀 自動(dòng)沸點(diǎn)試驗(yàn)裝置 智能型砂強(qiáng)度機(jī) 乳粉溶解性不溶度指數(shù)測(cè)定儀 瞬態(tài)快速熱線法導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試儀 瞬態(tài)激光導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)定儀 動(dòng)彈性模量測(cè)定儀 測(cè)定器 氣量?jī)x 溶氧儀 測(cè)定儀 小精靈 測(cè)氡儀 精密烘箱 檢測(cè)儀 礦用風(fēng)門(mén)開(kāi)閉狀態(tài)傳感器 回彈儀檢定器回彈儀拉簧檢定儀 專用
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等離子體去膠機(jī)

時(shí)間:2014-2-28閱讀:1053
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等離子體去膠機(jī)型號(hào):ME1


ME1型等離子體去膠機(jī),是在(RIE)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的基礎(chǔ)上簡(jiǎn)化改進(jìn)而來(lái),為小型 等離子去膠機(jī),具有體積小,性能優(yōu)良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復(fù)性好、價(jià)格低、使用方便等特點(diǎn)。是各電子器件企業(yè)及科研單位、大專院校的機(jī) 型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝,同時(shí)有RIE刻蝕功能,可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國(guó)外。
  整機(jī)基本配置和性能:
    1.激勵(lì)電源:13.56MHz 500W;帶匹配器和功率計(jì)各1臺(tái)(自動(dòng)匹配可選),帶定時(shí)器1臺(tái)。 
    2.真空系統(tǒng):8升/秒機(jī)械泵1臺(tái)。帶真空計(jì)。 
    3.載片臺(tái)尺寸:Ф220mm ,一次可放3片4英寸片或者4片3英寸片。
    4.氣路系統(tǒng):2路進(jìn)氣;2個(gè)質(zhì)量流量計(jì),2路顯示。 
    5.手動(dòng)控制(可以選擇配置工藝過(guò)程自動(dòng)控制)。
    6.均勻性:±5% (4英寸內(nèi))

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