手机版av在线_96精品国产aⅴ在线观看_中文字幕35页_国产亚洲成AV人片在线观黄桃_全黄性色大片_免费视频h

泰州市雙華儀表有限公司
中級會員 | 第12年

18852652008

熱電偶測溫儀
B型熱電偶
N型熱電偶
補償導線
工業(yè)熱電偶
鉑銠熱電偶
工業(yè)爐常用的熱電偶
熱電阻
鋼廠溶液溫度測溫儀
紅外線測溫儀
溫度儀表
變送器
快速熱電偶配件
分析儀
壓力表
記錄儀

微壓傳感器的工作原理是什么?

時間:2016-12-20閱讀:1808
分享:

微壓傳感器的工作原理是什么?

微壓傳感器在測量過程中,壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,同時通過電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號,這樣的過程就是微壓傳感器進行測量的過程。

對于微壓傳感器來說,靈敏度和線性度是微壓力傳感器zui重要的兩個性能指標。為了制作出能夠滿足實際應用需求的傳感器,必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中,發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現(xiàn)了在滿量程范圍內不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的估計,在此基礎上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。

微壓傳感器發(fā)展迅速,新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結構,并內置前置放大器,通過放大器放大微弱信號并實現(xiàn)阻抗變換,從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。但與此同時,對于微壓傳感器度的檢驗這一技術難題,就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。

為了解決微壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾,在結構上,綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優(yōu)點,采用雙島-梁結構。島區(qū)的面積不是按比例放大或縮小。首先,為了增加靈敏度,應盡可能減小窄梁區(qū)的長度和寬度。因為從對“梁-膜-島”結構的有限元分析和近似解析分析中發(fā)現(xiàn),減小窄梁區(qū)的長度和寬度可以明顯地使梁上的應力增大。并且當中間窄梁的長度約為兩邊窄梁長度的2倍時,器件的線性度。雖然有雙島限位結構,但在高過載情況下,硅膜將首先從島的邊區(qū)和角區(qū)破裂。這是因為傳統(tǒng)的島膜結構都是采用常規(guī)的有掩模的各向異性濕法腐蝕,從硅片背面形成硅膜和背島。硅膜是晶面,邊框和背大島側面都是晶面,夾角為54.74°的銳角。根據(jù)力學原理,在角區(qū)存在應力集中效應,使硅膜在正面或背面受壓以后,角區(qū)會具有應力的極值,因此破裂首先從該處發(fā)生。引入應力勻散結構以后,使角區(qū)變成具有一定曲率的圓角區(qū),使該區(qū)的應力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經(jīng)的緩變結構,采用一般的常規(guī)各向異性濕法腐蝕是無法實現(xiàn)的。為此,采用了掩模-無掩模各向異性濕法腐蝕技術。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言
主站蜘蛛池模板: 99热色| 日本天堂视频在线观看 | 国产精品全新69影院在线看 | 亚洲成AV人片天堂网久久 | 久久av视频 | 10000拍拍18勿入免费看动漫 | 极品美女Aⅴ在线观看 | 国产亚洲综合精品 | 三级无码AV在线观看网址 | 歐美性受XXXX黑人XYX性爽 | 极品白嫩粉嫩美女国产 | 色欲AV天天AV亚洲一区 | 天堂久久一区二区三区 | 成人性生交大片免费看中文 | 久久久WWW成人免费毛片 | 国内A级毛片免费观看 | 欧美日韩国产成人高清视 | aaaaa毛片 | 欧美日韩一区免费 | 亚洲精品综合精品自拍 | 久久国产色av老熟蜜臀av | 超碰97免费观看 | 桃色av一区二区 | 男同男性xx视频在线观看免费 | 国产高清免费在线播放 | 久久蜜桃资源一区二区老牛 | 牛鞭擦进少妇的下身 | 国产精品宾馆 | 久久大香伊蕉在人线免费 | 欧美中文国产高清 | 色视频在线观看免费视频 | 四虎免费影视 | 精品国产乱码一区二区三区 | 国产精品人妻久久久久 | 欧洲区乱码一二三 | 欢乐好声音1国语版免费观看 | 精品国产麻豆一区二区三区 | 亚洲精品熟女国产 | 久国久产久精永久网页 | 欧美疯狂做受xxxx | 成人欧美一区二区三区A片 亚洲精品成人网站在线 |