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四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于多種雜質檢測

閱讀:110發布時間:2022-6-19

四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中痕量雜質的檢測,zui小檢測濃度可達5ppb。四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用*的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,保證不同底氣的樣品的進樣量一致。
四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2、SF6、C2F6、C3F8等痕量雜質的檢測,儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測器,采用中心切割與反吹技術,配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器,通過無死體積取樣或在線進樣方式,一次性完成高純氨中雜質的檢測,檢測限達ppb級,重復性RSD≤1%。
四氟化碳分析氦離子色譜儀系統配置:
(1)GC-9560-HG四氟化碳分析氦離子色譜儀
(2)氦離子化檢測器(PDHID)
(3)中心切割系統                                              
(4)多柱箱系統
(5)氦氣純化器                                                  
(6)標準氣體
(7)色譜柱                                                           

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