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等離子發射氣相色譜系統適用于超高純氣體中ppt級雜質的檢測，系統配備具有超高靈敏度的等離子發射檢測器，多點串聯式載氣純化系統，采用內壁經Steak鈍化處理的合金色譜柱管材，經過交聯抗氧化處理色譜柱擔體，防止拖尾和氧吸附的發生。
等離子發射檢測器是一個靈敏度*的通用型檢測器，其內部有一個設計*的，加載高頻高壓電場的石英腔體又叫石英小池，在石英小池兩端加上高頻、高強的電磁場，當氣體樣品攜帶著經色譜柱分離的組份通過石英腔體時，在高壓、高強的電磁場的作用下，被高壓發生器電離，產生一種叫做場致發光的熒光現象并發射出特征譜線，載氣及組份一起被電離，形成等離子體。不同的組份在等離子體中會發出不同波長的光輻射，發射譜線隨著載氣中不同物質而發生變化，經過濾光和光電轉化得到色譜信號，信號與氣體標準物質組份的含量成正比。檢測器產生的光信號被光學系統檢測到，光學系統包括濾光片和光電二極管，濾光片會根據波長選擇性地濾出光信號，并通過光電二極管轉化為電信號，經信號電壓發大器將信號放大到分析所需的程度。用這種光發射技術來對樣品進行定量分析。
