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自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號：DP-TPY-2
自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀產品點：
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度、靈敏度以及自動控制等點。光源采用氦氖激光器，功率穩定波長精度。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數據采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀規格與主要指標：
測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10
測量Z小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180°
測量膜厚和折射率重復性精度分別為：0.5nm和0.005
儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
光學中心度：80mm
自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀成套性：主機、電控系統、USB接口、配套軟件（需配計算機）
主機重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
裝箱單
序號 | 名 稱 | 規格或型號 | 數量 | 備 注 |
1 | 自動橢圓偏振測厚儀主機 | DP-TPY-2 | 1臺 |
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2 | 主機電控箱 | DP-TPY-2 | 1臺 |
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3 | Q9連接線 |
| 1根 |
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4 | 數據連接線 |
| 1根 |
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5 | 電源線 |
| 2根 |
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6 | 15線連接電纜 |
| 1根 |
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7 | USB連接電纜 |
| 1根 |
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8 | 二氧化硅膜樣片 |
| 1張 |
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９ | 軟件安裝盤 | DP-TPY-2 | 1張 |
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10 | 使用說明書 | DP-TPY-2 | 1份 |
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11 | 裝箱單 | DP-TPY-2 | 1份 |
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12 | 產品合格證 | DP-TPY-2 | 1份 |
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