電子級磷酸屬于高純磷酸，廣泛用于大規模集成電路、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)等微電子工 業，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對電子元器件的成品率、電性能及可靠性 有很大影響，純度較低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板級)，純度高的用于電子晶片 生產過程的清洗和濁刻(稱為IC 級)。電子級磷酸還可用于制備高純磷酸鹽，也是高純有機 磷產品的主要原料，另外還可用作超高純試劑和光纖玻璃原料等。

產業鏈 制作工藝 電子級磷酸可由元素磷或磷的氧化物經化學反應得到，也可由成品磷酸凈化精制而得，制備 的關鍵在于控制并達到所要求的堿金屬與重金屬雜質離子的含量和顆粒度。

目前有如下幾種主要制備工藝:

1)用高純磷制備電子級磷酸;

2)用高純三LVhualin制備電子 級磷酸;

3)用三氯氧磷制備電子級磷酸。

提純工藝主要有:

1)磷酸的凈化精制法;

2)有機溶劑萃取法;

3)冷凍結晶法;熔融結 晶法;

4)其他凈化法其他的凈化方法有電滲析:電滲析法;膜分離。

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E-Scan系列電子級磷酸濃度分析儀擁有以下特征： PTFE材質的傳感器使其滿足化工、半導體行業的要求并且耐溫高達150℃； 免維護、無耗材、無漂移、自診斷功能，智能報警信號輸出功能； 防護等級：NEMA4X(IP67）； 自動溫度補償（軟件擁有豐富的產品線性數據庫和溫度補償數據庫）； 多組4-20mA模擬信號及數字信號輸出（隔離，非隔離可選）； 3648高分辨率的CCD； 多種報警信息輸出顯示（高低/高高/低低/偏差）； 可循環的干燥劑，無耗材，免維護； 光源為589 nml LED燈，壽命長達100000小時； 安裝適配器標準:PTFE,Teflon； 高精度，高品質、“美國制造”。