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北京北信科遠(yuǎn)儀器有限責(zé)任公司
初級(jí)會(huì)員 | 第14年

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關(guān)于真空度測(cè)試儀的概述

時(shí)間:2016/6/29閱讀:672
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真空度測(cè)試儀測(cè)試原理:
  首先,真空度測(cè)試儀是采用磁控放電法來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的距離,施加電場(chǎng)脈沖高壓,將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣,在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下,滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。而對(duì)于不同的真空管型號(hào)(管型)來(lái)說(shuō),由于其結(jié)構(gòu)不同,在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下,離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流后,就可以通過(guò)查詢?cè)摴苄偷碾x子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。
  其次,在常規(guī)磁控放電測(cè)試滅弧室的真空度時(shí),為了提高其測(cè)試靈敏度,需從斷路器上卸下滅弧室,并置于螺線管線管內(nèi)。這樣一來(lái),滅弧室在重新裝回?cái)嗦菲鲿r(shí)需要調(diào)整機(jī)械參數(shù),工作量很大并需專業(yè)人員。而使用新型磁控線圈的話就可以從側(cè)面包圍滅弧室,這樣就不必去拆卸滅弧室那么麻煩了。而采用單片微機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理,提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。
  Z后,真空度測(cè)試儀將滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的開(kāi)距,施加脈沖高壓,將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng),這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當(dāng)測(cè)知離子電流后,通過(guò)離子電流一真空度曲線,由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成真空度的計(jì)算,并顯示真空度值。

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