研發(fā)的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)能自動(dòng)檢查和變送細(xì)小流量，丈量氣體的規(guī)模是0 -101/hr(帶旁通可擴(kuò)展至0 -3001/hr或許更大)，具有作業(yè)壓力高、溫度規(guī)模寬、耐腐性能好、輸出規(guī)范電流等特征，是完成中小型設(shè)備自動(dòng)化的主要東西。
細(xì)小流量的自動(dòng)檢查在很多工業(yè)部分(如原子能工業(yè)、石油和化學(xué)工業(yè)、航空、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、輕工、食物及環(huán)保等部分)取得廣泛的使用;現(xiàn)已開(kāi)展了多種檢查小流量的技能，如內(nèi)孔板、毛細(xì)管、小型渦輪流量計(jì)和熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)等。因?yàn)槊?xì)管和內(nèi)孔板設(shè)備容易阻塞，而渦輪式小流量計(jì)機(jī)械加工又請(qǐng)求很高，這就約束了它們的廣泛使用。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)不但能克服這些缺點(diǎn)，并且能直讀質(zhì)量流量，沒(méi)有可動(dòng)部件，安穩(wěn)性好，可靠性高，量程寬，線性好等。這些年，各國(guó)均有工業(yè)化商品報(bào)道，是小流量范疇特征的檢查外表。
國(guó)內(nèi)一些科研和出產(chǎn)部分，近十幾年來(lái)，在熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)研討作業(yè)中亦作過(guò)不少作業(yè)，但直到現(xiàn)在為止，沒(méi)有見(jiàn)到有定型的商品。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的開(kāi)展已有近七十年的前史，初始的暖流量計(jì)由Thomas(托馬斯)提出，構(gòu)造原理示于圖1。它由加熱電源去堅(jiān)持兩測(cè)溫元件之間安穩(wěn)的溫差(或許加熱功率不變而溫差可變)，其加熱元件和測(cè)溫元件均被加工成柵狀，以立體方式跨過(guò)流體的全部橫截面，寫(xiě)入的熱量Q與質(zhì)量流量M的為:
式中C為流體的比熱，4t為測(cè)溫元件間的溫差。由(1)式可知，當(dāng)堅(jiān)持安穩(wěn)的溫差時(shí)，則Q是M的線性函數(shù);而堅(jiān)持安穩(wěn)功率時(shí)，則△t反比于M。
托馬斯流量計(jì)把全部熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)丈量元件置于流體中，這樣易受沖擊、腐蝕、磨損和污染，并且因?yàn)槿苛黧w均被加熱，當(dāng)用其丈量大流量的氣體或液體時(shí)，功率損耗和外表的呼應(yīng)時(shí)刻就變得很大。盡管如此，直到現(xiàn)今，仍有一些工廠在出產(chǎn)根據(jù)托馬斯外表原理的被稱(chēng)作熱絲式和熱膜式風(fēng)速計(jì)的流量外表。
對(duì)托馬斯流量計(jì)的改善表現(xiàn)為兩個(gè)方面，其一是把加熱元件和測(cè)溫元件的功用融構(gòu)成一體，此類(lèi)外表稱(chēng)作自加暖流量計(jì)，其二是將測(cè)溫和加熱元件設(shè)置子薄壁丈量管的外壁，使丈量元件受到保護(hù)，免受流體沖擊和腐蝕。此類(lèi)外表構(gòu)造見(jiàn)圖2。在這種非觸摸式測(cè)址構(gòu)造里，繞組W4繞于封閉的作為參比日的金屬管的外壁，而W1:繞于丈量管的外壁。W12,W3與別的兩個(gè)固定電阻構(gòu)成惠斯登電橋，中間的管制是擴(kuò)展量程用的旁通管。參比臂對(duì)電源和環(huán)境條件的改變有抵償作用。*，用電橋丈量溫差既方便又安穩(wěn)，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)輸出為直流毫伏信號(hào)。因而這種辦法得到了很大的開(kāi)展，主要用來(lái)檢查氣體小流量。在堅(jiān)持安穩(wěn)功率時(shí)，溫差t與流量M成份額，因?yàn)殡姌蚰軌蛲瓿蓽夭钜浑娮枰籱號(hào)的轉(zhuǎn)換，所以輸出的mv就直接正比于氣體的質(zhì)量流量 M 。
法國(guó)的U65型、U70型等微流量計(jì)和美國(guó)的LF與HF系列熱式流量計(jì)，原則上均屬此種原理。
加熱被測(cè)氣沐的辦法除了把直流電通向電阻絲，并經(jīng)薄}r管向氣體內(nèi)傳熱這種方式外，還開(kāi)展了低頻和高頻加熱丈量管的辦法。低頻的辦法多使用管自身的電阻，在管的兩頭施加低頻低壓交變電流;高頻的辦法多使用環(huán)形fn流或l J}應(yīng)加熱。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)這就稱(chēng)之為熱管式流量計(jì)。
檢查溫差的辦法除選用電阻體外，尚可選用熱電偶，通常丈量管自身可作為熱電偶的一極，這種辦法在美國(guó)取得了。
第三類(lèi)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是根據(jù)丈量在管的內(nèi)壁與流體之間構(gòu)成的流體邊界層的原理，因?yàn)檫吔鐚拥臒醾鲗?dǎo)與質(zhì)量流量有對(duì)應(yīng)，此類(lèi)外表稱(chēng)為邊界層熱式流量計(jì)，已被一些國(guó)家開(kāi)展為檢查液體小流量的工業(yè)化外表。邊界層流量計(jì)的一般方程可表為:
關(guān)于層流n = 1/3;關(guān)于湍流n = 0.8，明顯關(guān)于托馬斯外表，n= 1。但(2)式的C為綜合性常數(shù)，與管內(nèi)徑D、加熱面的軸向長(zhǎng)度L、流體的熱導(dǎo)率K、比熱C:及粘度u等有關(guān)。
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