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RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號RTF-PECVD-1200

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地南京市

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更新時間：2022-08-11 10:26:17瀏覽次數(shù)：242次

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南京萊步科技實(shí)業(yè)有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：149條

所在地區(qū)：江蘇南京市

聯(lián)系人：張再芳（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品摘要: RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)具有斷電保護(hù)功能，且配有通訊接口和軟件，轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)的爐膛采用*成型，四周加熱，溫場更加均衡。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)詳細(xì)介紹：

(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。

(3)、電阻均衡、溫場均衡性好

當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

OTL1200單溫區(qū)轉(zhuǎn)動管式爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用*成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱，溫場更加均衡

（全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）

RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品型號規(guī)格：

型號	功率	爐管尺寸(mm)	外形尺寸	電源電壓	相數(shù)
RTF-PECVD-1200-60	3.5KW	Dia60(OD)X1400mm	1300X420X1200	220V	單相

加熱元件：瑞典Kanthal A1 進(jìn)口電阻絲（電阻絲可承諾保修2年）

控制方式：

采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配）

可選配日本導(dǎo)電程序控溫儀表

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

控溫模式：智能PID 斷偶保護(hù)和顯示:有過溫保護(hù):有過流保護(hù):有

爐膛材料：1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用*成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場

控制精度：+/- 1 ℃

觸發(fā)器：移相觸發(fā)

電器：浙江正泰

可控硅：106/16E 德國西門康

溫度:1200 ℃

額定溫度:1100 ℃

升溫速率:≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

推薦升溫速率:≤10℃/ Min

熱電偶型號:K 型

加熱段長度:400mm

真空法蘭

1、為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求?？蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）

2、如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.

轉(zhuǎn)動電機(jī)功率: 40W

電動推桿功率:40W

爐子傾斜角度: -10~30度

爐管轉(zhuǎn)動速率 :采用無級變速電機(jī) 轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min 之間可調(diào)

轉(zhuǎn)動密封方式 : 采用轉(zhuǎn)動磁流體密封

四周表面溫度:≤45℃

射頻電源（等離子體發(fā)生器）

功率輸出范圍: 0-500W

反射功率:10W

信號頻率:13.56MHZ±0.005%

噪聲:<30 dB.

冷卻方式:空氣冷卻

輸入電源:208-240V 50/60HZ

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

流量控制和檢測采用

D07-7C質(zhì)量流量計

標(biāo)準(zhǔn)量程：采用質(zhì)子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）

工作壓力：3MP

準(zhǔn)確度：±1.5%

氣壓降：<0.01MPa

重復(fù)精度：±0.2% F.S

路數(shù)：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）

接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍：0.1~0.5 MPa

工作溫度：5-45℃

壓力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室： Dia50 X 400MM

接口： Dia6 1/4”

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

電源：220V

尺寸：600X600X600

波紋管：KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)：10 -1Pa

真空擋板閥：KF25

VRD-8真空泵(方案一)

型號：VRD-8

極限分壓強(qiáng)：5X10-2 Pa

進(jìn)排氣接口：KF25

電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440RPM

抽氣速率:2.2L/S

電機(jī)功率:0.4KW

無油干泵Perfeer ACP15（方案二）

型號 ACP15

電源 100-240V 50/60HZ

極限分壓強(qiáng) 0.02 Torr

進(jìn)、排氣接口 KF25

重量 25KG

氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s

抽氣速率 14 m3/h

功率 450W

電阻真空計

型號:ZDR-1

功率:25W

真空度測量范圍:0.1-10 5 Pa

電阻硅:ZJ-52T

瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計（選購）

型號:PCG554

輸入電壓:24V 1A DC（配有220V變壓器）

真空計接口:KF16

數(shù)字顯示:數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

產(chǎn)品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量:5 lbs

檢測氣體:可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。

是否防腐:防腐

響應(yīng)時間:≤30ms

測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr.

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

關(guān)鍵詞：通訊接口儀表熱電偶繼電器觸發(fā)器

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