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根據歐姆定律，被測電阻Rx等于施加電壓V除以通過的電流I。傳統的高阻計的工作原理是測量電壓V固定，通過測量流過取樣電阻的電流I來得到電阻值。
電阻率測試儀，通常采用雙電四探針法來測量材料的電阻率。其工作原理可以簡述如下：
電流源：先，電阻率測試儀內部有一個電流源（如千斯特電源）。當測試開始時，電流源會施加一個電流（I）到電頂端。
探針：電阻率測試儀有四個探針，其中兩個探針（稱為“電流探針"）用于施加電流，另外兩個探針（稱為“電位探針"）則用于檢測樣品表面的電勢差。四個探針之間距離相等，形成一個正方形。
接觸樣品：將四個探針與樣品接觸，通過夾持裝置，將樣品放在四探針之間的夾持位置。 注意樣品必須充分接觸到四個探針，以確保測定材料電阻率。
測量電勢差：當電流通過電轉移到樣品中時，電位探針會測量出樣品表面的電壓（V1）。此時，第二個電會引導電流流回電源，同時電位探頭會再次測量樣品表面的電壓（V2）。
計算電阻率：根據歐姆定律，可以通過電壓（V）和電流（I）的比值（R = V / I）計算出材料的電阻率R。
通過多次測量，可以得到不同位置的電阻率值，從而了解樣品電阻率的分布情況。由于雙電四探針法在測量過程中可準確測量非均質性材料，同時可以消除探針電阻之間相互影響的問題，因此它是一種非常可靠和常用的材料電阻率測試方法。
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