普通型硅片檢測顯微鏡 TGB-200詳細技術參數
一、儀器用途
TGB-200 硅片檢測顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數,配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產企業進行質量控制最普通的儀器。
二、技術參數
1.目鏡
2.物鏡
| 類別 | 放大倍數 | 數值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
平場消色差物鏡
（無蓋玻片） | 5X | 0.12 | 18.3 |
| 10X | 0.25 | 8.9 |
| 40X | 0.60 | 3.7 |
| 60X | 0.85 | 0.26 |
3.光學放大倍數：50X 100X 400X 600X
系統參考放大倍數：50X-4000X
4.載物臺：尺寸 185mm*140mm 移動范圍 75mm*50mm
5.調焦系統：帶限位和調節松緊裝置的同軸粗微動 微動格值 0.002mm
6.濾色片組：轉盤式，黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.照明系統：6V/20W鹵素燈，亮度可調；220V（50Hz）
9.防霉:的防霉系統
10.成像系統:高像素的日本JVC攝像頭
三、系統組成
(TGB-200)：1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數
TGB-200：50--4000倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度) 3.物鏡：20X 80X 10X干
