一、
銅厚測試儀檢定頂目
1、銅厚測試儀外觀:
銅厚測量儀的各配件齊全;外表整潔,且無刮擦痕跡;顯示屏完好;各功能按鍵完好清晰。
2、各部分相互作用:
各按鈕功能穩定,工作可靠。其中,顯示屏所顯數字應清晰、完整、無黑斑或閃跳現象。
3、校正方法:
①銅厚測試儀ETP探頭的校準:在主面面下,按SETUP鍵,進入安裝界面;按CAL&TURNING鍵,進入校準界面;按CALETP鍵,進行ETP探頭校準;把探頭放于空氣中,按鍵;選擇校準時測量標準片的次數,然后把探頭放在標準片上,按鍵。選擇單位,輸入標準片孔銅的厚度,按確認。校準完畢,按,返回到主頁面。
②SRP探頭的校準:在測量界面下進入校準界面;在校準界面下顯示屏幕所示的STD1鍵,進行*塊標準片校準,把探頭放于*塊標準片上,輸入*塊標準片銅箱的厚度,按確定;每一塊校準完成后,按屏幕所示的STD2鍵,進入第二塊標準片校準,把探頭放于第二塊標準片上,按鍵,輸入第二塊標準銅箔厚度,按確定。第二塊標準片校準完成后,按屏幕所示DONE完成校準。
③注意事項:SRP探頭可測量不同線寬的銅箔厚度。但需要測量某線寬的銅箔時,必須用相同線寬的標準片進行校準,否則會出現很大的誤差。
④CMI900系列產品自帶的標準孔銅規格:
A、面銅厚62mil(1574μm),孔內壁銅厚1.5mil(38.4μm)
B、CMI700系列產品自帶的標準面銅規格:標準片1CF-47570.06mil(17.0μm)標準片2CF-41722.63mil(66.8μm)
二、銅厚測試儀示值誤差:
校準完畢后,開始測量。分別測量若干已知值的孔銅和面銅厚度,記錄示值,并記算誤差,誤差值不超過±2μm。
四、銅厚測試儀檢定結果處理:
檢定合格,填寫《儀器校正報告》;檢定不合格,則填寫《量規儀器報廢記錄表》,交主管審核,記錄保存1年。