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微電子所在石墨烯電子器件研制上獲得整體突破

時間:2011-8-17閱讀:1070
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 石墨烯材料具有優良的物理特性和易于與硅技術相結合的特點,被學術界和工業界認為是推進微電子技術進一步發展的潛力的材料。日前,*微電子研究所微波器件與集成電路研究室(四室)石墨烯研究小組成員(麻芃、郭建楠、潘洪亮)在金智研究員和劉新宇研究員的帶領下,分別在采用微機械剝離方法、SiC外延生長法和化學氣相淀積(CVD)法生長出的新型石墨烯材料上,成功研制出高性能的石墨烯電子器件。

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